記者8月8日從中國科學院上海微系統與信息專業研究所獲悉,該所狄增峰研究員團隊研發出面向二維集成電路的單晶氧化鋁柵介質材料人造藍寶石。這種材料具有高超的絕緣功能,未來可用于開闢低功耗芯片。相關成績7日發布在國際學術期刊《天然》上。
二維集成電路采用厚度僅為1個或幾個原子層的二維半導體材料構建,是下一代集成電路芯片的夢想溝道材料。但由于缺少高質量的柵介質材料,實在際功能與理論比擬尚存在較大差距。
傳統的柵介質材料在厚度減小到納米等級時,其與二維半導體溝道材料間的界面2024世足賠率 運彩特性,會導致電流泄漏,增加芯片的能耗和發燒量。單晶柵介質材料能形成完滿界面,但通常需要較高的工藝溫度玩運彩比賽數據,易對二維半導體材料造成損傷,也難以達成夢想的絕緣功效。狄增峰說。而他們開闢的單晶氧化鋁柵介質材料,縱然在厚度僅為1納米時,也能有效阻止電流泄漏。
氧化鋁為藍寶石的重要構成材料。傳統氧化鋁材料通常呈無序結構,在極薄層面上的絕緣功能不良。團隊采用單晶金屬插層氧化專業,在室溫下精準管理氧原子一層一層地有序嵌入金屬元素的晶格中,終極得到不亂、化學計量比精確、原子級厚度均勻的氧化鋁薄膜晶圓。
團隊以單晶氧化鋁為柵介質材料,勝利制備出了低功耗的晶體管陣列。該晶體管陣列不僅具有優良的功能一致性,且玩運彩比分比較晶體管的擊穿場強、柵漏電流、界面態密度等指標均知足國際器件與系統路線圖對未來低功耗芯片的要求,有望為業界發展新一代柵介質材料提供借鑒。
記者8月8日從中國科學院上海微系統與信息專業研究所獲悉,該所狄增峰研究員團隊研發出面向二維集成電路的單晶氧化鋁柵介質材料人造藍寶石。這種材料具有高超的絕緣功能,未來可用于開闢低功耗芯片。相關成績7日發布在國際學術期刊《天然》上。
二維集成電路采用厚度僅為1個或幾個原子層的二維半導體材料構建,是下一代集成電路芯片的夢想溝道材料。但由于缺少高質量的柵介質材料,實在際功能與理論比擬尚存在較大差距。
傳統的柵介質材料在厚度減小到納米等級時,其與二維半導體溝道材料間的界面特性,會導致電流泄漏,增加芯片運彩 場中投注的能耗和發燒量。單晶柵介質材料能形成完滿界面,但通常需要較高的工藝溫度,易對二維半導體材料造成損傷,也難以達成夢想的絕緣功效。狄增峰說。而他們開闢的單晶氧化鋁柵介質材料,縱然在厚度僅為1納米時,也能有效阻止電流泄漏。
氧化鋁為藍寶石的重要構成材料。傳統氧化鋁材料通常呈無序結構,在極薄層面上的絕緣功能不良。團隊采用單晶金屬插層氧化專業,在室溫下精準管理氧原子一層一層地有序嵌入金屬元素的晶格中,終極得到不亂、化學計量比精確、原子級厚度均勻的氧化鋁薄膜晶圓。
團隊以單晶氧化鋁為柵介質材料,勝利制備出了低功耗的晶體管陣列。該晶體管陣列不僅具有優良的功能一致性,且晶體管的擊穿場強、柵漏電流、界面態密度等指標均知足國際器件與系統路線圖對未來低功耗芯片的要求,有望為業界發展新一代柵介質材料提供借鑒。